
电子无尘车间
电子无尘车间装修时应保持洁净室温度、湿度和压力符合原始要求。它的主要功能是控制产品(如硅片)的清洁度、温度和湿度,以便可以在良好的环境中生产产品。分为四个级别:
1. 0.5μm的大允许颗粒浓度小于3,520(pc / m 3),5μm的大允许颗粒浓度小于293(pc / m 3)。
2. 0.5μm的大允许颗粒浓度小于35,200(pc / m 3),5μm的大允许颗粒浓度小于2,930(pc / m 3)。
3. 10000个洁净室的大允许粒子浓度小于352000(pc / m3)的0.5微米,5个大的容许粒子浓度小于29300(pc / m3)的5微米。
4. 0.5微米的大允许颗粒浓度小于3520000(pc / m3),微米的大允许颗粒浓度小于293000(pc / m3)。
电子无尘车间装修改造项目设计的主要步骤:
作为洁净室车间装饰工程设计的步骤,工艺设计需要在满足电子产品生产要求的前提下,安排洁净室车间装饰工程的设备布置。合理确定各种公共电力设施的技术参数,以达到降低能耗,降低运行成本,提高生产效率的目的。同时,必须适当配置和布置过程,物料运输和存储设施,以满足装修项目的生产要求和电子洁净室车间的生产过程要求。另外,生产设备的自动化水平和物料运输的自动化水平应尽可能高。在经济、实用、安全和可靠的条件下提高生产效率。
生产设备的布置也是电子无尘车间装修工程设计的重要组成部分。电子无尘车间通常具有隧道(或港口式),开放式,岛状布置等。据调查,集成电路芯片制造的洁净室车间装修工程一般采用隧道式和开放式。隧道洁净室主要用于5英寸和6英寸芯片制造厂。生产设备跨越清洁生产区域和设备维护区域。清洁生产区域需要严格清洁,设备维护区域需要严格清洁。空气清洁度相对较低。